S rozvojom počítačovej mikroelektroniky a informačných technológií sa podporoval rýchly rozvoj elektronického výrobného priemyslu, ktorý tiež poháňal vývoj technológie čistých priestorov. Zároveň sa kladú vyššie požiadavky na navrhovanie čistej miestnosti, aby sa znížila miera chybovosti a zvýšila sa účinnosť výroby v elektronickom spracovateľskom priemysle, dizajn bezprašnej dielne je veľmi komplexný.
Vlastnosti výroby čistej miestnosti pre elektroniku:
Vyžaduje sa vysoká čistota, objem vzduchu, teplota a vlhkosť, diferenčný tlak, regulácia výfukových plynov podľa potreby. Okrem toho sú tieto požiadavky na čistú miestnosť pre statickú elektrinu mimoriadne prísne ， a dopyt po vlhkosti je obzvlášť vysoký .。, pretože príliš suchá továreň V miestnosti sa dá ľahko vyrábať statická elektrina, čo vedie k poškodeniu integrácie CMOS. Z nemeckého hľadiska by sa teplota elektronickej továrne mala kontrolovať na úrovni avout 22, relatívna vlhkosť by sa mala cítiť pohodlne. Čipová dielňa, čistá miestnosť IC, výrobňa diskov je dôležitou súčasťou čistej miestnosti. Pretože elektronické výrobky sú vo výrobnom procese, požiadavka na prostredie a kvalitu vnútorného vzduchu je veľmi prísna. Hlavným cieľom je kontrolovať častice a prach. Teplota a vlhkosť prostredia, objem čerstvého vzduchu a hluk sa už niekedy prísne regulujú.
1, Hladina hluku v továrni na elektroniku, 10-tich a čistá miestnosť (prázdny stav): nie viac ako 65 B (A)
2, Vertikálny pomer distribúcie čistej miestnosti by nemal byť menší ako 60%, Miestnosť klanu horizontálneho jednosmerného toku by nemala byť menšia ako 40%, v opačnom prípade by sa mala stať miestnym jednosmerným prúdom.
3, Rozdiel statického tlaku medzi čistou miestnosťou a vonkajším priestorom výrobcu elektroniky by nemal byť menší ako 10Pa. Rozdiel statického tlaku medzi čistými a nevyčistenými oblasťami by nemal byť menší ako 5Pa
4. Množstvo čerstvého vzduchu v čistej miestnosti 10 000 stupňov je maximom z týchto dvoch položiek:
1> Vzduch vyrovnávacej komory vytečujte a udržujte pozitívny vnútorný tlak potrebný celkový objem čerstvého vzduchu;
2> Zabezpečte, aby prívod čerstvého vzduchu na osobu v čistej miestnosti nebol nižší ako 40 za hodinu
Ohrievač systému HVAC v čistých priestoroch v elektronickom spracovateľskom priemysle should mal by sa zabezpečiť čerstvý vzduch, ochrana pred nadmernou teplotou pred vypnutím. Ak by použitie bodového zvlhčovania nemalo byť nastavené na ochranu pred vodou, v chladných oblastiach by mal byť systém čerstvého vzduchu vybavený protimrazovými ochrannými opatreniami. Objem privádzaného vzduchu do čistej miestnosti v elektronickom výrobcovi musí mať nasledujúce tri hodnoty. Podľa zaťaženia teplom a vlhkosťou vypočítajte a stanovte prívod vzduchu do čistej miestnosti a množstvo privádzaného čerstvého vzduchu.
